Rozšíření výroby karbidu křemíku vede k rychlému vývoji speciálního vybavení

Jul 28,2022

Výkonová zařízení křemíkového karbidu zrychlují pronikání do automobilových a jiných aplikačních polí, ukazují obrovský tržní prostor a přiláká různé výrobce ke zvýšení expanze výroby. Poté, co byla do výroby uvedena první 8palcová linka Wolfspeedu, byla také oznámena také Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba, byla také oznámena expanze a nová výstavba výrobních linek křemíkových karbidů.

Ve srovnání s tradičními výrobními liniemi křemíkových destiček přináší výrobní proces křemíku karbidy odlišné požadavky na vybavení.

Giuseppe Arena, ředitel projektu automobilového zařízení pro automobilové zařízení Stmicroelectronics, uvedl, že kvůli jedinečným fyzikálním a chemickým vlastnostem širokopásmových materiálů je výrobní proces křemíku zcela odlišný od tradičních napájecích zařízení na bázi křemíku v epitaxiálním růstu, iontově implantace, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová implantaci, iontová síla v epitaxiálním růstu. a žíhání s vysokou teplotou. Moduly, jako jsou speciální komory, jsou navrženy pro kontrolu vad a zlepšení produktivity. Při leptání, ztenčení a dalších odkazech jsou také vyžadovány speciální nástroje.

Jak proces a zařízení dozrávají, některé společnosti IDM zvažují transformaci zastaralé 6palcové výrobní linky silikonu do výrobní linky křemíku. Odborníci v oboru odhadují, že k úpravě procesu a nákupu malého množství speciálního vybavení potřebuje pouze 20 milionů investic v USA. Tento druh transformace výrobní linky lze dokončit.

V této oblasti se v této oblasti začala objevovat rozdělení práce a specializace a společnosti, jako je X-Fab, již vložily do slévárny křemíkového karbidu.

CLAS-SIC, která se nachází ve Skotsku ve Velké Británii, provozuje 6palcovou výrobní linku sléváren křemíku. 10-15% výrobní linky je vyhrazeno silikonové karbidové zařízení a většina zbývajících zařízení je zrekonstruována z výrobních linek křemíkových oplatků. Společnost je zodpovědná podle Rae Hyndmana, odvětví křemíku karbidu čelí také úzkým místem dodávek při nákupu vybavení druhé ruky.

Trh křemíkového karbidu je slibný a přitahuje také výrobce zařízení ke zvýšení investic do této oblasti. David Haynes, technický odborník ve Fanlinu, uvedl, že běžná výzva, které čelí vybavení vyvinutým pro procesy křemíku při zpracování substrátů karbidu křemíku, je posledně jmenovaná. Téměř transparentní ve viditelných a téměř infračervených oblastech je třeba optimalizovat detekční modul.

Další gigant vybavení, aplikované materiály, také spustil řadu speciálních zařízení pro karbid křemíku. Podle Sally Ann Henry, ředitelka rozvoje společnosti Shengmei, se říká, že jeho CMP zařízení určená pro zvláštní fyzikální a chemické vlastnosti karbidu křemíku výrazně snižuje povrchové vady oplatek na karbidu křemíku. Uvedl, že současný trh se speciálními zařízeními v křemíku je stále v rané fázi vývoje a většina IDM stále provozuje 6palcové výrobní linky. (Bridge Tools) budou velmi atraktivní. Takové zařízení lze nejprve zavést na výrobní lince 6 palců. Protože je vybaven nejpokročilejším detekčním modulem, může se rychle přizpůsobit budoucí 8palcové výrobní lince po výměně příslušenství, nakládání a vykládání modulů. Drát.
Produkt RFQ